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產(chǎn)品目錄
產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:MX-1201E,無掩膜曝光裝置,小批量生產(chǎn)直描曝光,DNK大日本科研DSLY0505

  • 產(chǎn)品型號:MX-1201E
  • 產(chǎn)品廠商:日本DNK大日本科研
  • 產(chǎn)品價格:0
  • 折扣價格:0
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簡單介紹:
MX-1201E,無掩膜曝光裝置,小批量生產(chǎn)直描曝光,DNK大日本科研DSLY0505 MX-1201E,無掩膜曝光裝置,小批量生產(chǎn)直描曝光,DNK大日本科研DSLY0505 MX-1201E,無掩膜曝光裝置,小批量生產(chǎn)直描曝光,DNK大日本科研DSLY0505
詳情介紹:
MX-1201E,無掩膜曝光裝置,小批量生產(chǎn)直描曝光,DNK大日本科研DSLY0505
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MX-1201E,無掩膜曝光裝置,小批量生產(chǎn)直描曝光,DNK大日本科研DSLY0505


利用獨自的高速描畫「Point Of Array方式」技術(shù)直接描畫圖形的裝置。


特長:

能夠用于研究開發(fā)、試作、小批量生產(chǎn)等的直描曝光。
能夠?qū)?yīng)以**PCB、高密度Packaging、平板顯示(FPD)等為首的MEMS等微細加工領(lǐng)域。
由于在光刻工藝中不需要掩膜,因而可以*大限度地降低開發(fā)成本和縮短市場供應(yīng)時間。
此外,還可以根據(jù)客戶需求,提供相應(yīng)的裝置構(gòu)造。
マスクレス露光裝置

主要規(guī)格

  MX-1201 MX-1201 MX-1201E MX-1204 MX-1702E
*小線幅 (※1) 5μm 5μm 3μm 1μm 10μm
數(shù)據(jù)分辨率 0.5μm 0.5μm 0.25μm 0.122μm 1.0μm
*大基板尺寸 200 x 200mm 200 x 200mm 200 x 200mm 150 x 150mm 550 x 650mm
有效曝光范圍 200 x 200mm 200 x 200mm 200 x 200mm 150 x 150mm 550 x 650mm
激光主波長 405±5nm 375±5nm 405±5nm 375±5nm 405±5nm
曝光掃描速度 43.9mm/s 22.5mm/s 10.9mm/s 92.2mm/s
光學(xué)引擎裝配數(shù)量 1 7


※1 因光刻膠和顯影條件而異。


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