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產(chǎn)品目錄
產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:MA-6131ML,G3~G5基板用,直立型近接曝光裝置,直,DNK大日本科研DSLY0505

  • 產(chǎn)品型號(hào):MA-6131ML
  • 產(chǎn)品廠商:日本DNK大日本科研
  • 產(chǎn)品價(jià)格:0
  • 折扣價(jià)格:0
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簡(jiǎn)單介紹:
MA-6131ML,G3~G5基板用,直立型近接曝光裝置,直,DNK大日本科研DSLY0505 MA-6131ML,G3~G5基板用,直立型近接曝光裝置,直,DNK大日本科研DSLY0505 MA-6131ML,G3~G5基板用,直立型近接曝光裝置,直,DNK大日本科研DSLY0505
詳情介紹:
MA-6131ML,G3~G5基板用,直立型近接曝光裝置,直,DNK大日本科研DSLY0505
MA-6131ML,G3~G5基板用,直立型近接曝光裝置,直,DNK大日本科研DSLY0505
MA-6131ML,G3~G5基板用,直立型近接曝光裝置,直,DNK大日本科研DSLY0505
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MA-6131ML,G3~G5基板用,直立型近接曝光裝置,直,DNK大日本科研DSLY0505


通過(guò)掩膜與基板的垂直放置,來(lái)減少翹曲的直立型近接曝光機(jī)。對(duì)應(yīng)水平搬送型前后處理裝置的聯(lián)機(jī)。

特長(zhǎng):

直立配置掩膜臺(tái)/基板臺(tái)。不需補(bǔ)正由掩膜/掩膜臺(tái)/基板臺(tái)的自身重量而造成的彎曲變形,構(gòu)造簡(jiǎn)單,安定性高。
采用新型光學(xué)系統(tǒng),使影響圖形轉(zhuǎn)印精度的傾斜角降低至過(guò)去的一半以下(與本公司裝置相比),可實(shí)現(xiàn)更高精度的圖形轉(zhuǎn)印。
完全分離本體與光源部。光源的熱量傳遞不到本體,改善了本體部的熱量分布水準(zhǔn)。
為了防止因掩膜及玻璃基板的溫度差造成的伸縮變形,可選擇基板臺(tái)溫度控制系統(tǒng)及掩膜冷卻系統(tǒng)。(選購(gòu)項(xiàng))
*大基板尺寸為1,200mm×1,400mm。通過(guò)獨(dú)自的光學(xué)系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)了均勻的一次性曝光。
能夠裝載存放5張掩膜的掩膜存放庫(kù)

主要規(guī)格
  MA-6701ML MA-6801ML MA-6131ML
基板尺寸 550 x 650mm 650 x 750mm 1100 x 1300mm
掩膜尺寸 620 x 720 x t8.0mm 700 x 800 x t8.0mm  1200 x 1400 x t4.8mm
對(duì)位 非接觸預(yù)對(duì)位~自動(dòng)對(duì)位
間隙 擁有傳感性能
光源 超高壓水銀燈 :8kW 超高壓水銀燈 :8kW 超高壓水銀燈 :18kW
外觀尺寸及重量 本體尺寸 W3500 x D2720 x H2700 mm W4150 x D3200 x H2900 mm W11300 x D7060 x H3350 mm
本體重量 3500kg 3800kg 12700kg
光源重量 800kg 1150kg 4200kg
選購(gòu)項(xiàng) 掩膜冷卻、基板臺(tái)溫度調(diào)節(jié)、溫控機(jī)房、特殊對(duì)位照明
用途 觸摸屏、彩色濾光片、有機(jī)EL、C-STN、電子紙等

※基板尺寸和水銀燈瓦數(shù)及特殊規(guī)格可商洽




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